高気密高耐気圧のクリーンヒーター

クリーンヒーターのCLHタイプは、高気密で高耐気圧のクリーン加熱用熱風ヒーターで塵やガスの放出をギリギリまで取り除いていて、半導体製造等のクリーンルームでの使用に適しています。

また発熱体や温度センサーは内側の石英管内に密封されていて、被加熱流体に直接接触しないため水蒸気や腐食性ガスの加熱にも使用でき、汎用性が高く低コストで運用できます。

CLHタイプには様々なシリーズがあり、ホームページから取扱説明書をPDFや動画でダウンロードすることができるのでわかりやすく説明されています。

まずヒーターの解説書では熱風加熱の基礎知識として、概要から圧縮気体の供給や電圧の加え方や加熱対象物の熱風の吹き付けや熱風加熱の計算方法など記載されています。

また専用コントローラーや温度センサーの解説やコンプレッサー、電磁ポンプ等を使う場合に使用方法や電磁弁でオンオフさせる場合の構成も理解できます。

それからハンダを溶かす実験や木材を焼切る実験ビデオ、ヒータの電圧流量や熱風温度にエア圧力特性など熱風ヒーターの特性も述べています。

他には熱風ヒータを制御して目的の温度，流量の熱風を得るヒータ専用コントローラ、各種エアー源の紹介や熱電対による測定方法の詳細や、熱風ヒータの計算方法について解説しています。

そして温度センサーの寿命については、構造上発熱体温度とほぼ同じ温度まで温度センサー線の一部が温度上昇するのでセンサーの寿命が問題になることがあります。